MEMS (mikro-elektro-mehaničke strukture)

MEMS (eng. Microelectromechanical systems = mikro elektro-mehanički sistemi) – tehnologija izrade vrlo malih struktura, slično izradi poluvodičkih mikroelektroničkih elemenata (tj. čipova). Praktična primjena ovih elemenata i počinje u trenutku kad je njihova izrada postala moguća u okviru izrade poluvodičkih čipova. Nakon što je završeni tehnološki procesi kojima se izrađuju poluvodički sklopovi, na za to predviđenom prostoru vrše se dodatni koraci u proizvodnu procesu, kojima se izrađuju MEMS strukture. Tako je moguće na istom čipu imati i elektroničke i mehaničke strukture, što pojednostavljuje izgradnju, a omogućava i veću brzinu sklopova. MEMS strukture se ponajviše rade procesom foto-litografije, slično onome kod izrade elektroničkih sklopova, a područje njihove primjene je izuzetno široko – automobilska industrija, potrošačka elektronika (kamere, mobilni telefoni), senzori, žiroskopi, mikrofoni itd. MEMS sklopovi se najčešće sastoje od fiksnog i pokretnog dijela, a mjeri se promjena kapaciteta između ta dva dijela uslijed različitih efekata (ubrzanje, gravitacija, titranje itd.)